技术编号:5869971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在存放被试验部件的状态下,能把所述被试验部件提供给基于电子部件试验装置的试验的电子部件存放体(插入体)、以及利用它的电子部件处理装置。背景技术 在本导体器件等的制造过程中,需要用于试验IC器件等电子部件的性能或功能等的电子部件试验装置。作为这样的电子部件试验装置的一例,众所周知的有由电子部件处理装置、电子部件接触装置和试验用主装置构成的电子部件试验装置。作为电子部件处理装置的一例,众所周知的有在被试验IC器件上外加低温、高温等各种温度应力后安装到...
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