室温醇类薄膜气体传感器及其制备方法技术资料下载

技术编号:5870212

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本发明涉及一种气体传感器及其制备方法。背景技术目前化学气体传感器使用半导体氧化物作为传感材料,这种传感器一般工作温度 在300 500度,需要消耗大量的能量,所以限制了其在便携领域的实际应用。目前在安全 生产领域和便携式个人传感器领域迫切需要低功耗,室温工作的低成本传感器。已经研究 的金属氧化物醇类敏感元件材料主要集中在掺杂的Sn02、In203、ZnSn03及SmFe03,并且检测 气体多以乙醇气体为主。文献报道kg和Sb掺杂的Sn02敏感元件在6V的加...
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