技术编号:5870438
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体硅应变片传感器制造领域,尤其涉及一种贴应变片的方法以及贴应变片的设备。背景技术应变片的工作原理是当外部环境有力、光、温度、湿度等影响应变片时,会引起应变片的电阻、电感、电容等的变化,产生相应的电学输出,从而对外部环境的变化进行精确的测量。在现实中,应用较广泛的应变片主要是由压阻式应变传感材料制成,被称为应变片压力传感器,其主要工作原理是被测压力传递到粘贴有压阻式应变传感材料的膜片、弹性梁或应变管上,使之产生变形,由压阻式应变传感材料组成的电...
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