技术编号：5870460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学精密测量，涉及一种大相对孔径球面面形的高精度干涉 测量方法，可以在不用子孔径拼接的情况下，实现大相对孔径球面的全面形高精度干涉测量。背景技术近年来，大相对孔径球面元件如球碗、球形关节等广泛应用于信息技术、空间技 术、遥感技术等高科技领域。对此类大相对孔径球面元件的检测一直是光学测量领域的 一个难点。其主要原因在于传统的光学干涉测量方法是采用高精度标准镜头来产生参 考波面，但是高精度球面标准镜头加工非常困难，对大相对孔径球面标准镜头的加工就更 ...
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