传感器模块的制作方法技术资料下载

技术编号:5870722

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本发明涉及一种传感器模块,具有一壳体和一设置在该壳体中的传感器、尤其是 微机械传感器。本发明还涉及一种具有这样的传感器模块的传感器装置。背景技术微机械传感器在很多中得到应用。因此传感器模块例如用在机动车领域 中,该传感器模块具有微机械地制造的、用于测定车辆实时运动状态的转速或加速度传感 器。在这种传感器模块中,一微机械地制造的传感器芯片被放置到传感器壳体中。在此,比 较常用的壳体形式是所谓的模制壳体,在该模制壳体中传感器芯片被嵌入到一个例如由塑 料材料制成...
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