技术编号：5870725
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有无应力压电体膜的压电体元件和使用了该压电体元件的陀螺仪传感器。背景技术已知压电体膜的特性，例如介电常数、居里(curie)温度、矫顽电场(coercive electric field)和剩余极化等，根据压电体膜的内部应力而发生变动。通过薄膜制造工艺 成膜的压电体膜在成膜时容易产生膜面内的二维应力，所以为了获得具有卓越压电特性的 压电体元件，希望开发具有较少的内部应力的晶体结构的压电体膜。作为具有用于减少内 部应力的晶体结构的压电体元件，例如...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。