用于加速度计处理电路的温度补偿装置及其加速度计的制作方法技术资料下载

技术编号:5870890

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本发明涉及微弱信号检测领域,尤其涉及对数字式加速度计的温度稳定性的改口。背景技术现有技术的数字式加速度计的结构如图1所示,由加速度传感器与处理电路组 成。从图1中可以看出,除了 MEMS加速度传感器之外,数字式加速度计的其他部分都是处理 电路。数字式加速度计的具体连接关系为=CORDIC正弦波产生器的输出端与数/模转换器 的输入端相连,数/模转换器的输出端与MEMS加速度传感器相连,MEMS加速度传感器的两 个输出端分别与第一电荷放大器和第二电荷放大器的输...
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