技术编号:5871746
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种波长测量装置,更具体地,涉及一种利用迈克尔逊干涉原理对待测激光器的波长进行实时检测和检定的测量装置。背景技术激光波长作为测量基准值,被广泛应用于长度、角度、速度、平面度、直线度和垂直度等多种物理量的测量,是精密计量、精密机械和微电子工业领域重要的测量参数,而精确地测量波长大小和稳定性是保证测量准确性和量值溯源的关键。对于波长可变化的激光器来说,如可调谐半导体激光器,在使用时事前不能确定其输出波长,具体的地说、可调谐激光器可以利用其调谐结构在很...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。