技术编号：5872069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及碳基薄膜的表面机械性能测试领域，更具体地说，涉及一种小载荷表面划痕测试装置。背景技术近年来，以碳基薄膜为代表的纳米薄膜以其优异的高硬度、低摩擦系数等机械性 能，作为理想的耐磨保护涂层以及固体润滑剂，在机械、电子、磁介质保护和医学领域获得 广泛的应用，引起了研究者的关注。目前，对碳基薄膜的机械性能评价方法主要有大载荷表面划痕仪、AFM纳米划痕装 置、以及摩擦磨损实验等多种方法，虽然这些分析方法能够相对准确地给出被测试材料的 性能评价，但是往往存在耗...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。