技术编号：5872892
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及射频谐振器，尤其涉及一种测量薄膜体声波谐振器本征Q值的方法。背景技术在无线通信领域，高通信频率、高传输速率、高密集复用和高集成化成为未来的发 展趋势，这就对无线收发机的射频、滤波器的滤波特性提出了更高要求。高Q值、可集成化 滤波器的谐振器技术正处于蓬勃发展中。薄膜体声波谐振器(FBAR)由于其高工作频率、高 Q值、低温度系数、高功率承载能力、可集成及小体积的特点，在无线通信领域得到了广泛的 应用。随着集成电路制造技术的进步，FBAR的性能有了大幅...
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