用于测量相对运动的设备和方法技术资料下载

技术编号:5873028

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本发明涉及。 背景技术在各种高科技应用中需要精确地测量运动。最精确的测量技术是基于激光干涉仪 的使用。在傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪中,通过使用氦-氖激光器来确定IR干涉仪的 动镜(moving mirror)的位置,以测量干涉仪中的光程差。只在离散的采样点处测量动镜 的位置,所述离散的采样点是具有λ Λ的间隔的激光干涉信号的过零点(zero crossing point),其中λ为激光的波长。通过条纹计数系统甚至可跟踪动镜的运动一直到10米。当测量达...
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