一种激光多自由度测量系统与方法技术资料下载

技术编号:5873327

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本发明涉及一种激光精密测量系统与方法,特别适用于工件或物体沿某导轨运动时对其运动的多自由度误差或运动姿态进行同时测量。激光六自由度测量系统可以实时测量运动体的三个线位移量(位移和二个方向的直线度)和三个转动量(偏摆、摇摆和滚摆),主要用于大型精密设备(数控机床、坐标测量机等)的静、动态精度测量,作为一种高精度的多维传感器,用于对物体或工件进行安装。因此多维同时测量方法与技术的研究一直是人们试图解决的技术难题。自20世纪60年代以来,人们一直试图解决这一技术...
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