技术编号：5873759
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关一种微型惯性感测元，特别是关于一种热汽泡式的微型惯性感测元，以作为倾斜计及加速规，用以感测位置、倾斜角度及加速度的变化。背景技术 已有的惯性感测元如加速规及陀螺仪，其是作为导航控制不可或缺的元件，然而，由于其体积庞大且价格昂贵，所以不适合推广。微机电技术是近年来兴起的一种微加工技术(Micromachining Technology)，利用此技术来制作微型惯性感测元，特别是微加速规(Micro-accelerometer)，其特性可比传统加工技...
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