基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺的制作方法技术资料下载

技术编号:5873838

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本发明属于微光机电系统,主要涉及一种微光机电陀螺,特别是涉及一 种基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺。背景技术随着全球卫星定位系统的广泛应用和高新技术的快速发展,现代惯性导航系统发 展要求惯性器件须在保证高精度的同时,要具备体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、易于集 成等特点。陀螺惯性器件作为惯导系统中的核心部件,在国土防空、舰船、潜艇的惯性导航 系统、导弹轨道控制、飞行器自主导航等陆、海、空、天制导、导航及控制以及卫星 姿态控制、摄像机稳瞄稳像、大地测量、...
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