基板检查方法技术资料下载

技术编号:5873998

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本发明涉及检查设置在被检查基板上的多个布线图案的电气特性的基板检查方 法。 背景技术作为这种现有技术,存在下述这样的技术,S卩,将多个布线图案中的任一个布线图 案设定为正极侧,并且将余下的布线图案设定为负极侧,利用输出部对布线图案间赋予电 位差,进而检测在布线图案和输出部之间流过的电流,并根据检测出的电流值判定布线图 案间的绝缘性的优良与否。依次更换被设定为正极侧的布线图案,由此对全部布线图案彼 此间的组合进行绝缘性的检查。作为相关的现有技术文献,有专利文...
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