技术编号：5874242
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械，涉及一种硅谐振式气压传感器。 背景技术基于微电子机械技术(MEMS)工艺的气压传感器主要分为压阻式、电容式以及谐振式等三大类。微机械谐振式压力传感器因其精度高、稳定性好、体积小、易批量生产等一些优良的特性，被誉为新一代的压力传感器，是微电子机械(MEMQ技术继压阻式压力传感器之后的又一项典型应用。比较国际上已经实用化的几种谐振式压力传感器，有一个共同的特点就是，谐振器工作于高真空环境中，制作工艺要求太高，比如日本横河公司的电磁激励谐振...
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