技术编号：5874244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容读出电路，而更详细地涉及高精度的电容式微机电传感器的读出电路，如微陀螺仪和微加速度计等。背景技术电容式传感器是一种被广泛应用的传感器，如电容式压力传感器、加速度计和陀螺仪等。电容式传感器大多是差分结构，因此其通常可等效为一对差分可变电容，其电容的变化量直接反映了外界待测物理量的大小。陀螺仪和加速度计是一种被广泛应用的惯性传感器，用于检测运动物体的角速度和加速度，它们在国防技术、航空航天、汽车电子、工业控制等领域有着广泛的应用。随着信息技术和微...
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