技术编号：5874938
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密测量技术中的激光外差干涉法领域，是一种消除或减小激光外差 干涉法中非线性误差的方法。本方法还可以应用于更一般的波动干涉过程，用以产生随波 程变化的周期性的附加在原有信号上的信号。背景技术激光外差干涉法可以用来测量位移和振动等，是最好的精密测量方法之一。该方 法是将被测位移量转变到外差信号的频率或者相位变化中，再将这种变化测量出来，由于 外差信号的频率比光频低得多，光电信号经电子细分后，容易处理，且容易达到较高的测量 分辨率，目前这种方法可以达...
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