技术编号：5874939
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测试仪器研究领域，涉及一种。 背景技术点衍射干涉仪主要用于对光学元件与光学系统的光学波相差的高精度测量。如见 图1所示，主要工作原理是通过单色光源照明系统1照亮带有针孔的基板2，入射光波经过 基板2上的针孔发生衍射，产生球面光波。其中一部分作为基准参考光波发射出，由CCD光 电接收器4接收；另一部分作为测试光波入射到被测试光学部件3上后返回，经基板2表面 反射与基准参考波面发生干涉，产生干涉图，从而能够高精度地测试光学波面相差。所谓光学波面相...
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