技术编号:5874980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体的检测装置和方法,具体为用于分析检测高纯度非腐蚀性气体中 杂质的通用装置和方法。背景技术在分析高纯度非腐蚀性气体时,不仅要检测气体本身(底气)的含量,也需要分析 其中所包含的杂质气体组分。上述杂质组分包括各种大分子和小分子气体,种类多,含量不同,分子量差异大, 因此分析检测时,需将组分逐一分离后再进行分析。而且由于高纯度非腐蚀性气体中底气的含量极高,杂质气体组分种类多,因此对 其中痕量的杂质组分检测有困难。这些杂质组分很容易被高浓度的底气所掩...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。