技术编号：5874981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体的检测装置和方法，具体为用于分析检测腐蚀性气体中杂质的装 置和方法。背景技术腐蚀性气体，如卤素类的氯气和氟气等，在分析其纯度时还需要检测其中所含的 杂质气体的组分。这些杂质气体组分包括氢气、氧气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、六氟 化硫、四氟化硅和四氟化碳等。上述杂质组分种类多，含量不同，分子量差异大，因此要分析检测时，需将组分逐 一分离后再进行分析。而且，高纯度和低纯度气体的分析检测元件不同，现有设备如单一的 气相色谱仪等还无法满足检测需...
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