技术编号：5875088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种铁电薄膜性能的测量方法，具体涉及一种利用光电流表征铁电薄 膜退极化时间的测量方法。背景技术铁电薄膜是一类重要的功能薄膜材料。铁电材料具有介电、压电、热释电、铁电等 重要特性，可制作声表面波器件、热释电探测器、铁电随机存取存储器、动态随机存取存储 器、移相器、压控滤波器等多种器件。同时微电子、光电子等提出了小型化、轻量化、集成化 的要求，因此铁电薄膜的发展成为了目前高新技术研究的前沿和热点之一。在铁电材料中，几乎所有的性能都与剩余极化的大小有关...
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