技术编号：5875365
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械式旋转速率传感器。 背景技术在汽车领域中，例如在ESP系统中，微机械式旋转速率传感器用于倾翻感测或用 于导航目的。旋转速率传感器的任务是正确地测量汽车绕旋转轴的运动。一种公知的微机械式旋转速率传感器具有一振动体，该振动体在x-y平面中延伸 并且被置于沿着位于该平面中的空间轴(例如X轴)的直线振荡中。在绕垂直于该平面的 旋转轴(Z轴)的旋转中，科氏力引起该振动体在一个方向(y轴)上的移动，该方向位于与 振荡轴(χ轴)垂直的平面中。该移动可以借...
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