技术编号：5876139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于检查半导体元件的电气特性的接触探针，尤其涉及即使反复 检查导电性也不会劣化的耐久性优越的接触探针。背景技术对于集成电路(IC)、大规模集成电路(LSI)、发光二极管(LED)等电子部件(即， 使用了半导体元件的电子部件)，通过使探针接触半导体元件的电极以检查其电气特性。在 这种检查装置(半导体检查装置)中使用的探针(接触探针)，当然要求其具有良好导电 性，另外还要求其具有即使与作为被检测体的电极反复接触也不产生磨耗、损伤的程度的 优越的耐...
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