一种制作高选择性半导体薄膜方法技术资料下载

技术编号:5876152

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本发明涉及声表面波气体传感器,特别是。背景技术随着工业的高速发展,随之带来了一系列环境问题,尤其是与人类息息相关的大气环境。传感器对有毒有害气体的监测,由于其自身的优势得到广泛应用。其中声表面波 (SAW)传感器更是因其具有高效、快速、耐用等技术优势而成为目前的研究热点。SAff传感器中的敏感膜决定着传感器的灵敏度与选择性,而选择性是目前面临的技术难点。通过掺杂或模式识别的方式在一定程度上改善了传感器的选择性,但需要做大量的实验工作用于掺杂剂的筛选与数据库...
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