技术编号:5876281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。实施例总体上涉及力传感器(force sensor)。实施例还涉及供力传感器使用的力 感知元件(force sense element)。实施例另外还涉及用于力传感器的封装方法。背景技术力传感器测量施加到感知元件的外力并且生成代表该施加的力的输出信号。这样 的力传感器一般被用在众多的应用中,诸如像汽车、航天、医疗、工业、和消费者应用。力传 感器工作的操作环境可能非常苛刻并且通常要求高精度、高可重复性、快速响应时间,以及 高可靠性。这样的力传感器能够用来以可...
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