技术编号：5876347
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械传感，涉及一种基于微电子机械技术(MEMQ的电磁激励谐振梁式压力传感器。背景技术谐振梁式压力传感器都是包含压力敏感膜和谐振梁两部分，当外界待测压力变化时压力敏感膜会产生应变，将应变传递给谐振器会改变谐振器的刚度，从而改变谐振器的频率，检测谐振器的频率变化即可得到外界待测压力的大小。利用MEMS技术制作的微结构谐振梁式压力传感器，到目前为止主要采用单晶硅和多晶硅材料制作而成。微机械硅谐振式压力传感器主要用于高精度压力的测量，由于其具有频率输出...
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