技术编号:5876415
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测试装置,特别涉及一种测试装置,经配置以通过移动探针离开检视模块的焦点,并保持待测元件在检视模块的视野内,进而实现在承载探针时进行元件映象功能。背景技术光学显微镜已被广泛地应用于检视半导体元件(例如发光二极管及集成电路)。 在一个典型的半导体元件测试过程中,晶圆(wafer)首先放在蓝色胶带上,切成单个半导体元件,使得晶圆上的单个半导体元件彼此分隔。蓝色胶带及其上方的半导体元件被装上一个圆形环进行测试。取像系统在测试过程中提供检视在圆形环上的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。