技术编号:5876905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于探测对象中的缺陷的方法以及一种用于执行所述方法的装置。背景技术在制造产品时,通常力争尽可能少生产次品。因而致力于,在原材料或者半成品进 入生产之前,检查原材料或者半成品可能的缺点或者缺陷。以这种方式,可以在最后的检验 之前或者在稍后确定所制造的产品有缺陷之前,阻止这些有缺陷的原材料或者半成品进入 制造过程以及由此带来的成本和花费。例如在制造尤其是太阳能电池这样的半导体元件 时,将硅片作为原材料。厚度最高为几百微米的、经常被描述为硅晶片的硅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。