技术编号:5877550
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶圆探针卡的同轴探针以及使用该同轴探针的测试头(spider), 尤其涉及一种关于可有效提供噪声屏蔽的晶圆探针卡的同轴探针以及使用该同轴探针的测试头。背景技术晶圆针测技术随着半导体制程技术一直演变,也不断地被使用着,使得裸晶在切割之后未完成封装前,可测试其质量,避免不良品封装成本。近年来半导体制程技术突飞猛进,现阶段晶体管通道长度(channel length)已由0. 15微米演进至0. 13微米到现在最新的90奈米制程,IC体积越来越小、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。