流量传感器及其制造方法技术资料下载

技术编号:5877586

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本发明涉及适用于例如在半导体制造装置中使用的气体等的微小流量的测定的 。背景技术例如,作为检测在半导体制造装置中使用的气体等被测定流体的流量的流量传 感器(流量测定装置),公知有热式流量传感器,该热式流量传感器通过对流体加热并 测定预定位置处的流体的温差,来测定微小的流量(例如参照专利文献1 日本国特开 2002-168669号公报(5-6页,图1);专利文献2 日本国特开2004-325335号公报(6-7页, 图8);专利文献3日本国特开2007-07...
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