技术编号:5877586
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适用于例如在半导体制造装置中使用的气体等的微小流量的测定的 。背景技术例如,作为检测在半导体制造装置中使用的气体等被测定流体的流量的流量传 感器(流量测定装置),公知有热式流量传感器,该热式流量传感器通过对流体加热并 测定预定位置处的流体的温差,来测定微小的流量(例如参照专利文献1 日本国特开 2002-168669号公报(5-6页,图1);专利文献2 日本国特开2004-325335号公报(6-7页, 图8);专利文献3日本国特开2007-07...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。