技术编号：5878642
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种振容式静电传感器。 背景技术现有的静电电荷量的测试方法可分为接触式测量和非接触式测量。由于接触式测 试法误差大和复现性差，一般不被采用。非接触式测量共有三种测试方式，分别为直接感应 式、旋叶式和振动电容式。直接感应式测量的缺点是稳定性差、易受干扰。旋叶式测量的缺 点是运行靠高速电机驱动，功耗多、体积大、可靠性差，不适合长期使用。基于振动电容式 原理测量有效的解决了前两种测量方式的缺点，但现有的振容式静电传感器的测量精度较 低。发明内容本发明是...
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