技术编号:5878790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器,具体涉及一种新型的集成式五维微力/力矩传感 器,主要应用于五维微力/力矩的检测。背景技术目前国内外三维到六维力传感器研究主要应用于机器人技术上,按测力原理可分 为电阻应变式、电容式、压电式和光电式,按弹性体机构可以分为直接输出型和间接输出 型,但设计原理及加工工艺都比较复杂,主要表现在结构上不紧凑,很难应用于微小的机器 人三维力或五维力的检测。发明内容本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种集成式五维微力/力矩传感器。本发明为实现上述目...
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