技术编号:5878822
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种微位姿测量的装置及方法。 背景技术 随着微纳米技术的快速发展,在各种精密工程领域对定位精度的要求日益提高。为了实现微纳器件装配、光纤对接、生物组织操纵等各种高精度作业,具有纳米级精度的微动机器人技术得到了广泛的关注。在六自由度微动机器人位姿控制和运动学参数标定中,位姿检测是其中的关键。对于微动机构,测量方法和测量装置的精度对测量结果会有很大的影响。因此,为了能够准确的获得微动机构的末端位姿,需要引入高精度的测量装置及相应的测量方法。 发...
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