技术编号:5878964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电电容式传感器,尤其涉及能根据固定电极和活动电极之间的静电电容来检测倾斜和加速度等的传感器结构。背景技术 利用静电电容变化的静电电容式传感器,例如图14所示的传感器是众所周知的。该传感器如图14所示,在面对面布置的基板1000、1003上,分别形成电极1001、1002和电极1004,一边的电极1001、1002设置在固定基板1000上,同时,另一边的电极1004设置在具有挠性的活动基板1003上,其功能是作为活动电极能相对于固定电极1001、...
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