技术编号：5879356
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻领域，尤其涉及光刻领域中的工件台测量装置。 背景技术干涉仪位置测量的技术被越来越广泛应用于各种精加工设备中。相对于其它测量方法，干涉仪测量有着光学非接触、高精度等诸多优点。作为精加工设备的光刻机， 更是把干涉仪测量作为其位置测量的重要工具。典型的，用于承放硅片的工件台和掩模的掩模台，其位置测量一般采用干涉仪，位置测量精度很高。Agilent公司美国专利 US7, 355，719B2(公开日2008年4月8日)和ASML公司美国专利US 6，0...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。