技术编号：5879576
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS压力传感器，具体涉及感测谐振MEMS器件的空腔内的压力。技术背景在MEMS制造过程中，通常将微结构封装在密闭的微空腔内，以保持真空条件以便 MEMS器件的正确操作。微空腔具有非常小的体积(典型地200X200X2 μ m3)，漏气或放气 很容易破坏真空。因此，重要的是具有一种在产品发布期间、在产品工艺的资格审核期间、 或甚至在谐振MEMS器件的操作期间监控微空腔中的压力的装置。图1示出了频率为25. 8MHz的体模式计时谐振器(bulk ...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。