技术编号：5879924
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学检测领域，涉及一种检测光波阵列面以及具光学反射面表面平坦 度等的方法。背景技术目前光波阵列面检测的方法，主要有干涉测量、哈特曼传感器测量以及哈特曼夏 克传感器测量等方法；光学反射面表面平坦度的检测，多使用干涉的方法。对于干涉方法， 会受到面积的限制。而哈特曼和哈特曼夏克法分别采用了小孔径光阑和透镜阵列，应用中 对其孔径光阑以及透镜阵列的制造要求精度很高，且每个单元的参数并不能做到完全一 致，所以会引入相应误差。发明内容本发明将提供一种光波阵列...
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