技术编号：5879943
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显微镜自动对焦的方法，尤其涉及一种扫描超声波显微镜自动对焦方 法。背景技术扫描超声波显微镜因为其无损、可对制定内部层面扫查、辐射小等优点广泛应用 于电子芯片、微纳器件的检测，成为无损检测领域内不可替代的设备。大多数扫描超声波显 微镜是采用脉冲回波技术工作的，即一个特殊的声学组件(如超声波探头)发射、接收高频 短脉冲的声波。在探头内部高频率的电磁振动转化为平面波，通过耦合中介(水或者其他 耦合剂)发射到试件。从物体反射回来的声波信号也同时被探头接收...
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