技术编号:5880054
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量极小气体流量的装置和方法,特别涉及一种利用非蒸散型吸 气剂泵测量极小气体流量的装置和方法。背景技术在计量实验室中,大多采用高精度气体微流量计测量和提供已知气体流量。高精 度气体微流量计多选用恒压式气体微流量计。文献“冯焱,成永军,张涤新,等.恒压式气体微流量计的性能测试.真空科学与技 术学报25 (3),2005. ”介绍了当不采用非蒸散型吸气剂泵抽气时,器壁放气引起的测量不确 定度在10_8Pa. m3/s量级为0. 6%,在10_9P...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。