技术编号:5880244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电测量,具体涉及光电测量技术中测量微位移的装置。 背景技术光栅尺是目前应用较为广泛的具有代表性的测量位移传感器,由于受码盘刻画、 温度以及装调工艺等因素的影响,使测量装置体积和测量分辨率及精度成为业内人事十分 关心的问题。以往在空间小的环境下对微位移测量的装置主要是靠霍尔元件,直线电位器等模 拟器件,它们有易受电器噪声干扰,分辨率较低,稳定性差等特点。发明内容本发明为解决现有微位移测量装置的体积大,测量精度低且稳定差,易受电器噪 声干扰等问题,...
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