技术编号：5880416
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法。 背景技术面阵CCD靶面封装在壳体内后，其安装定位面和CCD靶面应严格平行。这种平行应满足光学系统焦深的要求Δ5 = 4/ (-)2。即焦深Δ δ等于4倍波长光学系统数值孔径的平方。对于数值孔径小于2的可见光波段的光学系统其焦深小于0.01mm。目前大部分CCD 安装定位面和CCD靶面的平行度可以满足这个焦深Δ δ的要求。而对于一些新研制的CCD 由于各种原因，其平行度达不到这个焦深Δ δ的要求。这...
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