技术编号：5882026
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种光学干涉仪，特别是一种基于键合技术的集成光学干涉仪，属于微细加工领域。背景技术 近年来，随着MEMS技术的迅速发展，各种光学器件也逐渐向微型化和集成化的方向发展。光学干涉仪是一种用来测量光学表面的位移与变形的干涉计量仪器。它利用激光作为待测表面的信息载体，以干涉条纹的形式在电视监视器上显示出试件表面位移或变形的等值线条纹，可以用于高灵敏度位移传感器，形貌测定，折射率测定，面内位移，振动分析及材料或构件的无损检测等方面。由于传统的光学干涉仪...
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