技术编号:5884119
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体测试,特别是涉及一种。背景技术探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机 台。对晶圆的测试过程由测试机、探针台等实现,通过探针台上的探针卡实现芯片上每个接 脚与测试机的稳定连接,由测试机判定晶圆上芯片的特性。探针台种类繁多,从操作上可分为手动、半自动以及全自动探针台;从功能上可分 为高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针α寸。通常,在半导体测试领域,一个实验室或者企业需...
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