包含具有背面照射光电二极管结构的图像传感器的生物芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:5885534

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本发明涉及一种生物芯片,尤其涉及一种包含具有背面照射光电二极管结构的图像传感器的生物芯片,该图像传感器收集来自晶片(wafer)的背面的光,从而提高对从生物芯片的反应区域发出的光进行感测的能力。背景技术一般来说,将芯片制造成这样的型式其中,参考样本(由诸如DNA、蛋白质等的生物分子构成)规则地排列在由诸如玻璃、硅和尼龙的材料制成的基片上。根据待排列的参考样本的种类,将生物芯片分为DNA芯片、蛋白质芯片等等。基本上,生物芯片利用相对于基片是固定的参考样本和目...
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