技术编号：5885586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力传感器的产品制造技术，尤其是涉及用离子束溅射硅材料制造压力传感器的核心部件即压力应变器件的技术方法。背景技术压力传感器作为现代信息化工业的一个关键器件，其特性和用途主要取决于其核心部件敏感元件的技术和工艺。随着现代工业技术的不断发展，敏感元件的技术日新月异，主要体现在采用不同力学结构的弹性体元件、或者采用各种新材料、又或者采用各种新的工艺技术和手段、又甚而基于创新的物性原理等等。基于金属电阻应变效应或半导体压阻效应的技术及产品仍然占据重要地位...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。