技术编号:5886547
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微纳光学元件测量,更为具体地来说,是涉及一种用于 测量微纳光学元件光学参数的装置。二背景技术微纳光学元件是指体积尺寸以纳米与微米计量的光学元件。随着现代制作技术和 现代生物的快速发展,几乎在所有的工程应用领域中,无论是现代国防科学,还是 普通的工业领域,例如光纤通信、信息处理、航空航天、生物医学、激光_机械加工和光计算 技术,微纳光学元件都显示出越来越重要的应用价值和广阔的应用前景,并且是制造小型 光电子系统的关键元件,它具有体积小、质量轻、...
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