技术编号：5887979
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及准确测量硅、锗单晶电阻率及各种导电薄膜方块电阻(又称面电 阻率)的探测装置，具体涉及一种长寿命拔插式探针头。背景技术电阻率是半导体材料的主要质量参数之一，目前多采用探针头来测量。中华人民 共和国国家计量检定规程“四探针电阻率测试仪”(JJG508-87)明确规定四探针头的探针 间距偏不大于2%，探针游移率不大于3%。现有的探针头都是由探针、探针垂直运动的导 引部件、探针的加压弹簧三大要件以精确的几何定位构成的，现有的探针头所使用的加压 弹簧都...
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