绝对压力型压力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5888268

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背景技术本发明涉及一种压力传感器,特别涉及一种能测量绝对压力值的绝对压力型压力传感器。通常,多种形式的绝对压力型压力传感器已经公知。在这些传感器中,其中公开(未审查的)号为1998-90096的日本专利(参考文件1)和公开(未审查的)号为1999-83655的日本专利(参考文件2)公开了一种绝对压力型压力传感器,在这种传感器中,用一个膜把扩散半导体型压力敏感片液密性地封装起来,这样封装液体可以防止流体与传感片的接触。另一公开(未审查的)号为1999-295...
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