技术编号：5889862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及压力传感器领域，具体为一种压阻传感器芯片。 背景技术MEMS (微机械电子)压力传感器是微电子机械系统中最早的产品之一，按照工作原 理分为压阻式、电容式和压电式等等。压阻式压力传感器因其具有灵敏度高、响应速度快、 可靠性好、易于集成等优点在航天、医疗器械和汽车电子等领域得到了广泛应用。现有的体硅压力传感器芯片，其玻璃基底需通过键合工艺实现和上层的压力敏感 膜之间的封装，导致该结构的生产难度大、生产成本高，且易产生废品、成品率低；且由于硅 和玻...
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